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六氟乙烷

发布时间:2015-01-24

六 氟 乙 烷

1、产品介绍

中文名称:六氟乙烷           英文名称:hexafluoroethane

化学式:C2F6                  CAS号:76-16-4

熔点(℃):-101               沸点(℃):-78

亦是烃类化合物乙烷所对应的全亚博网络投注合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。

2、主要用途

可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。

作制冷剂方面:六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)

3、运输信息

危险货物编号:22034

UN编号:2193

包装类别:O53

包装方法: 钢质气瓶。

运输注意事项: 采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。严禁与氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。

4、泄漏处理

应急处理: 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,将漏气的容器移至空旷处,注意通风。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。

5、储存注意

储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。


产品指标:

特来化工科技产品质量指标
项目名称
质量指标
六氟乙烷(C2F6).ppmv
≥99.999%
氧气(O2).ppmv
≤2.0
氮气(N2).ppmv
≤8.0
二氧化碳(CO2).ppmv
≤0.5
一氧化碳(CO).ppmv
≤0.5
水份(H2O).ppmv
≤0.1
酸度(以HF计).ppmv
≤0.1
其它有机物.ppmv
≤1.5

包装规格:

钢瓶包装
容积
净重
44L
43kg
钢瓶阀门
CGA660/DISS716